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本说明书实施例提供一种微纳米级别材料弹性模量检测设备、检测方法和检测系统，检测设备通过叠加原理对微纳米级别材料弹性模量进行检测，检测设备包括：夹持机构，夹持机构用于对微纳米级别材料进行夹持；传感器机构，传感器机构上安装有用于对微纳米级别材料...
该专利属于上海泽丰半导体测试有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海泽丰半导体测试有限公司授权不得商用。

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