下载一种真空泵废气洁净装置的技术资料

文档序号:35216320

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本实用新型涉及一种洁净装置,尤其涉及一种真空泵废气洁净装置。提供一种能够对真空泵产生的废气中夹带的杂质,进行固气分离处理的真空泵废气洁净装置。一种真空泵废气洁净装置,包括有真空泵组件、接收罐、低温水罐、集气罐、输气管、吸收罐和过滤机构,真空...
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