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本发明公开了一种晶圆校准机构，包括：校准台，其顶部设置有承托板；定位校准组件，其可转动的安装于所述校准台的中心区域；以及夹持组件，其可活动的安装于所述校准台上；其中，所述承托板的上方承托有待校准的晶圆，所述晶圆的外周设置有校准口，所述承托板...
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