温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开了制造用于形成具有波导的目镜的模具的方法，该波导具有一体间隔件。模具通过使用湿法蚀刻或干法蚀刻将深孔(例如，5μm至1000μm深)蚀刻到基板中来形成。用于限定孔的蚀刻掩模可以由厚金属层和/或多层不同金属形成。抗蚀剂层可以被设置在蚀刻掩...
该专利属于奇跃公司所有，仅供学习研究参考，未经过奇跃公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。