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本发明提供了一种沉积方法及沉积装置。所述沉积方法包括如下步骤：提供晶圆和沉积挡板，所述晶圆的边缘区域具有定位缺口，所述沉积挡板包括用于遮挡所述定位缺口的突出部；将所述沉积挡板置于所述晶圆上方，所述沉积挡板与所述晶圆两者圆心对准重合；向所述晶...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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