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本公开提供一种调焦调平测量方法及测量系统，方法包括：光学光栅经光束照明成像于被测对象表面以形成光学光栅图案，所述光学光栅图案进一步反射到光学传感器的成像平面上；对光学传感器上像素点进行编码，以实现在像素点上对光强信号的保持或清除，形成数字光...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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