下载一种水性剥离液及其用途的技术资料

文档序号:35195600

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本发明提供一种剥离液及其用途,属于液晶面板和半导体生产技术领域。所述剥离液包括抗蚀剂,烷醇胺,环状胺,有机酸,水溶性有机溶剂和水,所述抗蚀剂包括式I所示化合物。所述剥离液剥离效果好,且所述剥离液对金属腐蚀性小,可用于高精度液晶面板和半导体的...
该专利属于深圳深骏微电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳深骏微电子材料有限公司授权不得商用。

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