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本发明涉及集成电子器件散热技术领域，更具体的说是一种陶瓷基均热板及其制造方法。该均热板包括陶瓷蒸发端，金属冷凝端与充液管。蒸发端上分布有微柱，并用槽道结构将其在圆周方向均匀分隔开，冷凝端上有相比微柱尺寸和间距更大的微柱通道。制造时，蒸发端陶...
该专利属于哈尔滨工业大学（深圳）所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学（深圳）授权不得商用。

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