下载压力传感器以及压力传感器的制备方法的技术资料

文档序号:35186988

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本发明公开了一种压力传感器以及压力传感器的制备方法,压力传感器包括压力放大单元,压力放大单元包括第一本体和振动膜,第一本体具有第一腔室和第二腔室,振动膜覆盖第一腔室远离第二腔室的敞开端;压力感知单元,压力感知单元设于第一本体靠近第二腔室的一...
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