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本发明涉及一种镀膜载物台，包括转动安装的转轴，转轴延伸至镀膜腔室内的端部设置用于撑托待镀膜工件的载物台，载物台上设置有用于加热待镀膜工件的加热组件。本发明提供的上述方案，能够直接对被镀膜工件进行加热，可以实现对被镀膜工件温度的精确控制。现对...
该专利属于安徽纯源镀膜科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽纯源镀膜科技有限公司授权不得商用。

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