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本实用新型涉及一种用于评测MEMS气体传感器的腔体，包括腔体主体和腔体密封盖，所述腔体主体顶部通过螺栓安装有腔体密封盖，所述腔体主体与腔体密封盖间隙位置处安装有垫片，所述腔体主体前后表面中间均设有通气孔，所述腔体主体前表面的通气孔内部安装有...
该专利属于四川大学所有，仅供学习研究参考，未经过四川大学授权不得商用。

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