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本发明公开了一种高精度运动误差补偿方法、装置、设备及存储介质，涉及光学缺陷检测技术领域。其中，高精度运动误差补偿方法，包括以下步骤：采集运动轴具有重叠区域的多个图像帧，并记录采集位置的参考坐标；基于所述图像帧，通过图像拼接算法计算采集位置的...
该专利属于武汉精测电子集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉精测电子集团股份有限公司授权不得商用。

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