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本申请涉及集成光芯片技术领域，特别涉及一种多模输出波导的模式转换装置及高速探测系统，所述模式转换装置包括衬底、波导层；所述波导层设置于所述衬底上；所述波导层设置有阵列波导；所述阵列波导包括并排的多个第一波导；所述阵列波导的输入端用于对准多模...
该专利属于上海羲禾科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海羲禾科技有限公司授权不得商用。

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