下载在熔体表面上形成的结晶片材的主动边缘控制的技术资料

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光学传感器被配置为检测熔体和熔体上的固体带之间的发射率差异,该固体带可以是硅。光学传感器与冷初始化器定位在坩埚的同一侧。使用光学传感器检测熔体和在熔体上的带之间的发射率差异。这种发射率差异可以用于确定和控制带的宽度。控制带的宽度。控制带的宽...
该专利属于尖端设备技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过尖端设备技术公司授权不得商用。

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