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一种环形阶梯同轴天线式微波等离子体化学气相沉积装置制造方法及图纸
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下载一种环形阶梯同轴天线式微波等离子体化学气相沉积装置的技术资料
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一种环形阶梯同轴天线式微波等离子体化学气相沉积装置。包括:2.45GHz微波电源、矩形波导、三销钉调配器、短路活塞、同轴线模式转换器、环形阶梯同轴天线、环形石英窗、圆柱形微波谐振腔、测温窗口、观察窗口、进气口、排气口、冷却水口、可升降式衬底...
该专利属于北京科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京科技大学授权不得商用。
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