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本发明提供一种静电吸盘，具备陶瓷电介体基板及基座板，其特征为，陶瓷电介体基板具有：第1、第2主面；槽部，从第1主面向第2主面凹下；及多个冷却气体用孔，穿通槽部与第2主面之间，槽部具有第1、第2周向槽及第1、第2径向槽，多个冷却气体用孔具有：...
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