温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种晶圆周转装置，包括圆晶盒载置台、圆晶盘载置台、晶圆寻边器中转台、晶圆盘寻边器中转台、第一搬运机构、第二搬运机构和第三搬运机构，所述圆晶盒载置台的外侧设置有所述晶圆寻边器中转台；本装置在使用时，在传送环主体上直接设计带平边...
该专利属于苏州雨竹机电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州雨竹机电有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。