下载一种电极结构的容栅式直线位移传感器的技术资料

文档序号:35080873

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本实用新型公开了一种电极结构的容栅式直线位移传感器,包括定栅板以及可沿定栅板相对直线滑动的动栅板;所述定栅板包括反射电极;所述动栅板包括发射电极和接收电极;所述反射电极沿定栅板直线方向呈周期性排列布置,且反射电极的节距为2.54mm;所述发...
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