下载涂布装置的技术资料

文档序号:35052452

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本发明提供一种即使在使用限制涂液流路这样的垫片的情况下也能调节涂布装置的主体块体的长度方向的排出流量的涂布装置。涂布装置1具备主体块体10。主体块体10具有涂液导入部40;在一个方向上延伸设置的涂液排出部41;从涂液导入部40导入的涂液所流...
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