专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
株式会社岛津制作所
>
阀控制装置以及推断装置制造方法及图纸
>技术资料下载
下载阀控制装置以及推断装置的技术资料
文档序号:35050058
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种阀控制装置以及推断装置,阀控制装置可谋求调压控制的精度提升。在阀控制装置(1b)中,运算部(210)在朝腔室导入气体时将阀体(12)的开度(θr)固定成一定,并基于阀体(12)的开度(θr)已被固定成一定时的压力测量值(Pr)...
该专利属于株式会社岛津制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。