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本实用新型公开了一种化学气相沉积炉的基体支撑装置，包括连接板，连接板的上表面中部开设有第一安装凹槽，连接板的上表面均匀开设有第二安装凹槽，若干第二安装凹槽以第一安装凹槽为中心星型分布，第二安装凹槽内转动设置有调节螺杆，调节螺杆的外侧套设有与...
该专利属于浙江六方碳素科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江六方碳素科技有限公司授权不得商用。

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