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本公开提供了一种工艺监控方法、装置、存储介质和电子设备，涉及半导体技术领域。该工艺监控方法包括：获取待更新的第一脚本的脚本更新信息；根据所述脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定所述当前生产工艺的脚本执行状态；若所述脚本执行状态...
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