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均热板及芯片制造技术
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下载均热板及芯片的技术资料
文档序号:34945126
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本实用新型公开了一种均热板及芯片,该均热板包括冷源板和热源板,冷源板的冷面具有微米尺度的薄壁凹坑微结构,使得冷凝液滴只能生长在薄壁凹坑微结构的各单个凹坑内而不生长在单个凹坑的侧壁顶面上,冷面设有超疏水层;热源板的热面设有超亲水层,热源板与冷...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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