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本发明公开了一种高效的硅片夹取转移装置及其转移方法,包括第一部件、第二部件、第三部件和第四部件,所述第一部件包括安装片,所述安装片的一端一体化成型有凸起块,所述凸起块与安装片表面之间形成弧形沟,所述安装片的上部表面开设有方孔,所述第二部件包...该专利属于浙江海纳半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江海纳半导体股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种高效的硅片夹取转移装置及其转移方法,包括第一部件、第二部件、第三部件和第四部件,所述第一部件包括安装片,所述安装片的一端一体化成型有凸起块,所述凸起块与安装片表面之间形成弧形沟,所述安装片的上部表面开设有方孔,所述第二部件包...