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本发明提供一种SiC注入用高温加热靶盘。所述SiC注入用高温加热靶盘包括加热底盘、隔热圈、加热绝缘盘、加热丝、炉丝盖板、石墨盘和引出线；所述隔热圈安装在所述加热底盘上并与所述加热底盘形成安装腔，在所述安装腔内由下往上依次叠设加热绝缘盘、加热...
该专利属于北京烁科中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京烁科中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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