下载一种贵金属改性MEMS一氧化碳传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:34900382

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本发明公开了一种贵金属改性MEMS一氧化碳气体传感器及其制备方法,制备方法包括:首先使用金属盐通过水热法制备得到两种半导体金属氧化物气敏材料粉料,分别与硅溶胶、聚酰胺树脂、二异丁基酮混匀得到浆料C和E;将贵金属源、硅溶胶、去离子水混匀得气敏...
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