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文档序号:34884040
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本发明构建一种反映了说明变量的变动与目的变量的变动的因果关系的回归模型。预测装置使用从生产设备获得的工艺数据来预测产物的特性值。此外,预测装置具备:工艺数据获取部,从存储从生产设备获得的工艺数据的存储装置读出所述工艺数据;以及预测模型生成部...
该专利属于株式会社大赛璐所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社大赛璐授权不得商用。
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