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本发明公开了一种获取理论光谱的方法和形貌参数的测量方法，用于提高理论光谱计算效率和形貌参数的测量效率。获取理论光谱的方法包括：获取待测量样品的形貌模型，将形貌模型划分为M个分块，获取每个分块的初始形貌参数，浮动初始形貌参数得到多组参考形貌参...
该专利属于上海精测半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精测半导体技术有限公司授权不得商用。

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