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本申请涉及半导体集成电路测试技术领域，具体涉及一种晶圆级测试中探针保护装置及方法。晶圆级测试中探针保护装置包括：探针卡板，所述探针卡板上设有探针，所述探针的第一端用于连接被测芯片引脚；基板，所述基板中形成保护通路，所述保护通路的第一端与所述...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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