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一种芯片点压机及芯片巨量转移方法技术
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文档序号:34856875
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本发明公开了一种芯片点压机及芯片巨量转移方法,包括固定座、水平活动座、竖直活动座、音圈电机、压电陶瓷促动器和柔性顶针,水平活动座与固定座滑动连接,竖直活动座与水平活动座滑动连接,音圈电机设在固定座的一端,音圈电机的输出端与水平活动座连接,压...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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