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本实用新型提供了一种半导体晶圆抛光设备，本实用新型涉及抛光设备技术领域，半导体晶圆抛光设备，包括机台、电动缸和移动板，机台内部中间开有工作腔，工作腔中部上端贯穿出机台，电动缸固定于工作腔内壁底部，移动板底部与电动缸输出端固定连接；工作腔内部...
该专利属于江西锐凯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西锐凯科技有限公司授权不得商用。

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