下载晶体管及其制备方法、以及存储器的技术资料

文档序号:34844953

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本公开实施例提供了一种晶体管及其制备方法、以及存储器,该晶体管包括:衬底,所述衬底包括有源区;栅极结构,所述栅极结构穿过所述有源区;所述栅极结构包括栅极和栅极介质层,所述栅极介质层覆盖所述栅极的侧壁和底部;沟道层,位于所述栅极介质层相对远离...
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