下载微通道板通道内壁制备中子敏感膜层的方法的技术资料

文档序号:34840115

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本发明提供一种微通道板通道内壁制备中子敏感膜层的方法,包括:采用原子层沉积技术,使用有机硼前驱体和臭氧或氧等离子体作为两种反应物通过化学反应生成
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