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一种基于新型三元材料的异质结光电探测器制造技术
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下载一种基于新型三元材料的异质结光电探测器的技术资料
文档序号:34815902
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本实用新型公开了一种基于新型三元材料的异质结光电探测器,利用新型三元材料作为主体敏感薄膜层材料与其他薄膜材料组成异质结结构,通过差异化后热退火处理达到调制光电探测器电流响应度和响应速度的目的。本实用新型所述器件结构从下到上依次为衬底、绝缘层...
该专利属于中国民用航空飞行学院所有,仅供学习研究参考,未经过中国民用航空飞行学院授权不得商用。
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