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本申请提供一种硅片位置偏差检测方法及系统，第一方面，一种硅片位置偏差检测方法通过获取待测的硅片的第一硅片图像，提取第一硅片图像中的偏差中心线，计算出偏差中心线与工作台XY坐标轴之间的偏差角度，根据偏差角度旋转硅片，使得偏差中心线与Y轴平行，...
该专利属于沈阳仪表科学研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳仪表科学研究院有限公司授权不得商用。

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