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一种用于物理气相沉积的设备和方法包括：磁控管，其具有位于基座和导磁板之间的多个电磁体。磁控管包括位于基座和导磁板之间的多个单独控制的电磁体。磁控管控制供应给各个电磁体的电流的极性和强度，以产生磁场将电子限制在沉积腔室内靶材附近的区域。在沉积...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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