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一种带高对比度光栅的高效垂直腔面EML芯片制造技术
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文档序号:34774769
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一种带高对比度光栅的高效垂直腔面EML芯片,包括VCSEL单元、氧化隔离层、EOM单元和高对比度光栅,氧化隔离层设置于VCSEL单元和EOM单元之间,用于防止两单元接触处的电位影响各自单元内的工作电流;高对比度光栅设置于EOM单元上方,用于...
该专利属于福建慧芯激光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建慧芯激光科技有限公司授权不得商用。
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