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本申请涉及集成电路领域，尤其是涉及一种喷雾涂胶液路系统。喷雾涂胶液路系统包括喷头、胶液存储机构、清洗液存储机构、第一气源、第一管路以及第二管路，第一气源通过第二管路与喷头连接，胶液存储机构与清洗液存储机构均通过第一管路与喷头连接，在第一状态...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。