下载抛光机用重力供液系统的技术资料

文档序号:34772335

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本发明提供一种抛光机用重力供液系统,属于供液系统技术领域,包括桶体、出液管、鼓泡组件,鼓泡组件包括进气管、单向透气板,单向透气板开设数个通孔,单向透气板与桶体的内环壁连接,单向透气板与桶体的底部形成气体空腔,单向透气板与桶体的上部形成溶液空...
该专利属于宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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