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本发明提供了一种基于静电式MEMS可调法珀腔的高光谱成像组件和设备：其中组件包括带通滤光片、带孔遮光板、可调法珀腔芯片组件、多模支撑镜筒、光学镜头、单色成像芯片组件和基座；多模支撑镜筒内从上到下依次形成有与带通滤光片、带孔遮光板和可调法珀腔...
该专利属于优尼科（青岛）微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过优尼科（青岛）微电子有限公司授权不得商用。

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