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本发明提供磨削装置及磨削方法。所述磨削方法通过磨具对基板进行磨削加工，在所述基板埋入有由与所述基板的主要构成材料不同的材料构成的异种材料部，所述磨削方法包括以下步骤：朝向转动的所述基板，使所述磨具边转动边下降，通过所述磨具对所述基板进行磨削...
该专利属于株式会社冈本工作机械制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社冈本工作机械制作所授权不得商用。

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