下载磨削装置的技术资料

文档序号:34763877

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本发明提供磨削装置,其使磨削装置所具有的3个以上的磨削机构的磨削痕适当地交叉。在磨削装置中,按照通过第2磨削磨具的磨削而产生的晶片的第2磨削痕与通过第1磨削磨具的磨削而产生的晶片的第1磨削痕交叉的方式,相对于卡盘工作台配置第1磨削机构和第2...
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