下载半导体结构及其形成方法的技术资料

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一种半导体结构及其形成方法,其中,半导体结构包括:衬底,所述衬底上形成有鳍部;栅极结构,横跨所述鳍部,所述栅极结构的侧壁上具有凹槽,所述凹槽的开口朝向所述鳍部延伸方向,且所述凹槽暴露出所述鳍部的部分顶部和侧壁表面,所述栅极结构的顶部尺寸大于...
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