下载晶圆测试载物台及晶圆测试设备的技术资料

文档序号:34705505

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本实用新型公开了一种晶圆测试载物台及晶圆测试设备,晶圆测试载物台包括工作台、底座、第一连接体及第二连接体,第一连接体与第二连接体的两端均分别与工作台、底座连接,第一连接体与第二连接体的个数总和不少于三个,第一连接体与第二连接体均匀分布于底座...
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