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一种射频等离子体处理系统，包括：反应室；电极，具有电极对称轴，所述电极部署在所述反应室中；以及多个板，每个板具有导电层，在距电极表面的间隙处在所述电极的周界周围相对于所述电极对称轴以方位角部署在所述反应室中，所述多个板中的每个板通过可变电抗...
该专利属于科米特技术美国股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科米特技术美国股份有限公司授权不得商用。

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