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一种多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，包括底座、与底座相垂直且与底座相互水平滑动的基板、间隔均匀且水平设置的2M+1个末端执行器、2M个直角三角形楔形块、和驱动基板滑动的滑动机构；其中每一个直角三角形楔形块的底边长度相同；当滑动机构推动基...
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