下载一种半导体高效蒸发台的技术资料

文档序号:34652121

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本实用新型公开了一种半导体高效蒸发台,其包括:蒸发台基体、第一固定板、第二固定板、立柱、挡板、挡板驱动装置和刮板,所述立柱设置在蒸发台基体中并对称分布在坩埚的前方或者后方,所述第一固定板分别设置在立柱上,所述第一固定板底部分别设置有沿蒸发台...
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