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本实用新型公开了化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，包括防护外壳和固定底板，所述防护外壳内腔的右侧固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套。本实用新型通过防护外壳，用于对伺服电机和螺纹...
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