下载半导体装置的技术资料

文档序号:34602350

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本公开提出一种半导体装置。半导体装置包括第一通道区、第二通道区以及第一绝缘鳍片,第一绝缘鳍片插入在第一通道区与第二通道区之间。第一绝缘鳍片包括下部以及上部。下部包括填充材料。上部包括:第一介电层,在下部上,第一介电层为第一介电材料;第一盖层...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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