温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种半导体晶片加工用抛光装置，包括抛光台，所述抛光台上通过升降机构安装有驱动板，且驱动板的底部固定安装有工作电机，所述工作电机的输出端固定连接有主轴，且主轴的底端固定连接有抛光盘，所述抛光台的顶部开设有晶片槽，且晶片槽位于抛...
该专利属于广州市鸿浩光电半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市鸿浩光电半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。